無塵室（Clean Room），也稱為潔凈室。

潔凈室是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計的房間。

不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。

無塵室的污染來源

污染源主要有四種：人員、空氣、表面、產(chǎn)品。人員的主要污染源主要來自于人體外細胞的正常脫落和著裝，另外人的嘴和鼻子也能污染空氣，說話、咳嗽、打噴嚏也能產(chǎn)生大量的微生物粒子，也是污染的關(guān)鍵。

潔凈度等級

國家標準GB50073-2001

美國聯(lián)

邦標準（USA Federal Standard）209E（1992年）無塵室潔凈度參照

目前FPC行業(yè)主要線路壓干膜、干膜曝光、覆蓋膜貼合、油墨印刷、感光油墨曝光等工序使用無塵室，主要無塵室等級選用萬級（7級）或者10萬級（8級），部分大的工廠會使用到千級無塵室（6級）。

FPC行業(yè)無塵室常用的測試指標：

溫度：23+/-2℃

相對濕度：60+/-10%

室內(nèi)壓差：5-20PA

潔凈室設(shè)計

氣流組織型式及換氣次數(shù)